电容式微机械超声换能器的发射性能研究

作     者：王子渊 何常德 任勇峰 王红亮 焦新泉 张文栋 WANG Ziyuan;HE Changde;REN Yongfeng;WANG Hongliang;JIAO Xinquan;ZHANG Wendong

作者机构：中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家重点研发计划资助项目(2018YFF01010500) 国家自然科学基金资助项目(61927807) 山西省“1331工程”重点学科建设计划项目(1331KSC) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2021年第40卷第12期

页      码：77-80页

摘      要：电容式微机械超声换能器相较于传统的压电式超声换能器具有宽频带、高密度阵元集成制造、微型化等优势,在医学成像、无损检测,水下成像等应用中具有广泛的应用前景。本文利用硅微加工技术制备了一种微型电容式超声换能器,并对换能器发射性能进行测试并对结果进行分析。测试结果表明:该换能器具备发射超声波的能力,其发射的超声波在硅油液体中的声压衰减符合指数型衰减规律;中心工作频率约为4 MHz, 3 dB相对带宽约为87.5%;在中心频率工作时,换能器输出的声压幅度与交流驱动电压信号呈良好的线性关系,线性度为2.06%。

主 题 词：电容式微机械超声换能器 发射性能 微机电系统 发送电压响应级 

学科分类：07[理学] 08[工学] 070206[070206] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2021)12-0077-04

馆 藏 号：203106910...