基于近场技术的微纳尺度热物性测量系统空间分辨率增强

作     者：刘燕 张超 郑利兵 王大正 孙方远 刘珠明 LIU Yan;ZHANG Chao;ZHENG Libing;WANG Dazheng;SUN Fangyuan;LIU Zhuming

作者机构：中国科学院电工研究所北京100190 中国科学院大学北京100049 北京科技大学能源与环境工程学院北京100083 冶金工业节能减排北京市重点实验室北京100083 广东省科学院半导体研究所广东广州510650 

基　　金：国家重点研发计划资助项目(2020YFB2008602) 中国科学院科研装备研制资助项目(YZ201606) 广东省“2018GDASCX-0112第三代半导体高端枢纽平台建设”“半导体器件温度表征和微纳尺度材料热物性测量平台”(2020GDASYL-20200102024) “精度大扫描场电子束复合聚焦偏转系统研制”(2020B0101320002) 国家自然科学基金资助项目(51720105007) 中央高校基本科研业务费资助项目(FRF-BD-20-09A) 

出 版 物：《测试技术学报》 (Journal of Test and Measurement Technology)

年 卷 期：2022年第36卷第1期

页      码：73-79页

摘      要：传统的脉冲激光时域热反射系统通常基于远场光学设计,对于微纳米材料热物性测量的空间分辨率约在3μm~10μm范围,不足以满足先进微电子器件和芯片的热物性测试要求.基于近场光学原理,本文研究了提升时域热反射系统空间分辨率的新颖技术方法,并建立了相应的实验系统.实验获得的微纳结构样品测量数据表明,基于近场技术的时域热反射系统对于微纳米材料热物性测量的空间分辨率可提升到1μm.该技术为微电子器件热设计和纳米尺度热输运机理研究提供了有效的实验手段.

主 题 词：近场探针 时域热反射 空间分辨率 微纳尺度热物性 界面热阻 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-7449.2022.01.013

馆 藏 号：203107149...