一种用于微型光谱仪的光栅光调制器件

作     者：王伟 温志渝 张智海 金珠 郭媛君 莫祥霞 

作者机构：重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044 

基　　金：重庆市院士基金(CSTC 2008BC3002)资助课题 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2010年第47卷第3期

页      码：107-113页

摘      要：提出了一种改进型的可应用于微型光谱仪的光栅光调制器(GLM),器件由可动光栅和底层反射层组成。通过静电驱动由多个GLM组成的线阵单元,下拉栅条至不同高度可实现对不同波长光进行开关选通调制。介绍了该器件的工作原理、结构和工艺流程,利用Coventor软件对器件进行建模。通过有限元分析了器件的机电耦合特性,得到了器件的吸合电压和响应频率,并得出不同结构参数对器件栅条平坦度的影响关系。仿真结果表明:通过增加栅条厚度,改进底电极结构,且采用减薄的折叠型支撑梁,能够有效改善光栅面平坦度,使其较好地实现对光的开关选通。

主 题 词：光栅光调制器 微光机电系统 有限元仿真 微型光谱仪 器件结构设计 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081002[081002] 

D　O　I：10.3788/lop47.032301

馆 藏 号：203107173...