空心玻璃微珠内部残余气体分析

作     者：常仁超 毕海林 吴俊 王旭迪 彭小波 CHANG Renchao;BI Hailin;WU Jun;WANG Xudi;PENG Xiaobo

作者机构：合肥工业大学机械工程学院合肥230009 安徽凯盛基础材料科技有限公司蚌埠233000 

基　　金：装备研发重点实验室项目(6142806200404) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2022年第42卷第1期

页      码：31-36页

摘      要：空心玻璃微珠在航空航天、军工等领域有广泛应用,其内部残余气体压强及成分对传热等性能有重要影响,目前国内外还没有残余气体分析相关报道。针对空心玻璃微珠内部压强未知、尺寸小、数量多等特点,设计了一种基于波纹管真空动密封的样品破坏取样机构。基于静态升压法和动态流导法,结合破碎率,推导空心玻璃微珠内部压强计算公式。采用小孔对大气量残余气体降压取样,并使用四级质谱仪对其进行成分分析。对比初读法和积分法两种质谱分析方法,其中积分法分析结果具有更好的一致性。结果表明,取样机构可以获得40%以上的质量微珠破碎率,基于玻璃粉末法制备的空心玻璃微珠内部压强在27000 Pa左右,残余气体成分主要包括SO_(2)、N_(2)、CO、CO_(2)和O_(2)。

主 题 词：空心玻璃微珠 静态升压法 动态流导法 残余气体分析 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjvst.202107014

馆 藏 号：203107245...