一种新型微结构气体传感器电极设计分析

作     者：韩郁 刘丽 陕皓 王连元 李守春 李伟 田云霞 魏爱国 HAN Yu;LIU Li;SHAN Hao;WANG Lian-yuan;LI Shou-chun;LI Wei;TIAN Yun-xia;WEI Ai-guo

作者机构：吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室吉林长春130012 

基　　金：吉林省科学技术厅项目(20100344) 吉林省环境保护厅项目(2009-22) 吉林大学大学生创新性实验计划资助项目(2010C65188) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2012年第12期

页      码：6-8页

摘      要：利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,在单晶硅衬底上,设计了一种新型微结构气体传感器的电极结构。这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。通过有限元分析工具分析加热器和信号电极在不同宽度与间距下的温度分布。当加热器宽度为100μm,信号电极宽度35μm,间距为70μm,传感器获得均匀的温度分布和低功耗,有利于传感器整体性能的提高。

主 题 词：气体传感器 微加热器 电极 温度分布 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2012.12.003

馆 藏 号：203107308...