MEMS仿生矢量水听器优化设计

作     者：刘林仙 张国军 张文栋 

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2011AA040404) 中北大学研究生科技基金资助项目(20120923) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2013年第11卷第2期

页      码：159-163页

摘      要：针对纤毛式MEMS仿生单矢量水听器灵敏度偏低、频响曲线起伏较大的缺陷,对该结构水听器进行了优化设计.通过理论分析和仿真计算,从两方面进行了优化,一是纤毛材料的选择,选用光纤替代塑料柱体;二是设计了一种"半油半酯"新型封装结构.最后在国防水声一级计量站对该封装水听器进行了相应的校准测试.测试结果表明,该水听器性能较之前有了明显提高,灵敏度达到-165 dB(包括前置放大26 dB),频响范围为20 Hz～2 kHz(±4 dB),具有良好的"8"字型指向性.

主 题 词：矢量水听器 MEMS 纤毛 光纤 半油半酯 

学科分类：0817[工学-轻工类] 082403[082403] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0824[工学-林业工程类] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 

D　O　I：10.13494/j.npe.2013.028

馆 藏 号：203107313...