计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差

作     者：蔡志华 王孝坤 胡海翔 程强 王若秋 张海东 CAI Zhi-hua;WANG Xiao-kun;HU Hai-xiang;CHENG Qiang;WANG Ruo-qiu;ZHANG Hai-dong

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033 中国科学院大学北京100049 

基　　金：中国科学院前沿科学重点研究项目(No.QYZDJ-SSW-JSC038) 吉林省科技发展计划项目(No.20200401065GX) 中国科学院青年创新促进会(No.2019221) 国家自然科学基金(No.61805243,No.61975201,No.12003034,No.12003035,No.62127901) 

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2022年第15卷第1期

页      码：90-100页

摘      要：单光楔补偿检测法具有良好的适用性、鲁棒性和灵活性,但是在检测光路中存在多种误差耦合,误差解耦困难,影响了单光楔补偿检测的精度和可信度。针对这一问题,本文提出一种计算全息法(Computer Generation Hologram,CGH)标定单光楔补偿检测光路系统误差的新方法。文中首先分析了单光楔补偿检测法系统误差的来源,并对CGH标定光楔补偿器的可行性进行了分析。结合工程实例,对口径为150 mm的单光楔补偿器设计了CGH,经分析可得CGH的标定精度为1.98 nm RMS,CGH标定后单光楔补偿检测精度为3.43 nm RMS,该精度能够满足大口径凸非球面反射镜的高精度检测要求。结果表明:CGH可以准确标定单光楔补偿器的位姿和检测光路的系统误差,解决了检测光路中误差解耦困难的问题,提高了单光楔补偿检测的准确性和可靠性。使用CGH标定得到Tap#2和Tap#3的检测光路系统误差分别为0.023λRMS和0.011λRMS。

主 题 词：计算全息 光学检测 衍射 光楔 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.37188/CO.EN.2021-0004

馆 藏 号：203107372...