应用材料为先进微芯片设计提供突破性的流体CVD技术

作     者：江兴 

出 版 物：《半导体信息》 (Semiconductor Information)

年 卷 期：2010年第6期

页      码：15-16页

主 题 词：微芯片 应用材料 CVD 薄膜沉积 逻辑器件 工艺步骤 化学气相沉积 摩尔定律 十年 

学科分类：080903[080903] 0202[经济学-财政学类] 02[经济学] 020205[020205] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203107439...