可刚性固定MEMS矢量水听器的设计

作     者：王续博 张国军 郭楠 郭静 张文栋 Wang Xubo;Zhang Guojun;Guo Nan;Guo Jing;Zhang Wendong

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA09A414) 国家自然科学基金资助项目(61127008 51205374) 山西省青年科技研究基金资助项目(2012021013-3) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2016年第53卷第5期

页      码：310-315页

摘      要：针对传统矢量水听器在实际应用中需要辅助弹性悬挂,不便于工程应用的问题,设计并制造了一种具有低加速度灵敏度可刚性固定的差分型MEMS矢量水听器。介绍了该水听器的工作原理,制作了试验样机。搭建实验平台对样机进行测试,结果表明:500 Hz时声压灵敏度为-185 dB(0dB参考值1 V/μPa),频带内指向性凹点深度大于30 dB,加速度灵敏度相对于普通型矢量水听器下降20 dB(0dB参考值1 V/g)。理论与实验证明该差分型MEMS矢量水听器可以实现刚性固定的目的,具有广泛的工程应用前景。

主 题 词：微电子机械系统(MEMS) 矢量水听器 差分结构 刚性固定型 加速度灵敏度 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2016.05.006

馆 藏 号：203107455...