一种电容式微机械加速度计的设计

作     者：郑旭东 曹学成 郑阳明 罗斯建 王跃林 金仲和 ZHENG Xu-dong;CAO Xue-cheng;ZHENG Yang-ming;LUO Si-jian;WANG Yue-lin;JIN Zhong-he

作者机构：浙江大学信息科学与电子工程学系杭州310027 

基　　金：国家重点基础研究发展计划资助(973计划)(2006CB300405) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第2期

页      码：226-229页

摘      要：介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。该加速度计根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证了输出电压与加速度之间的线性度。对加速度计进行了结构设计和分析。给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深反应离子刻蚀过程中的过刻蚀现象的方法。初步测试结果表明,该加速度计的灵敏度比较理想,谐振频率与理论计算相吻合。

主 题 词：电容式加速度计 微机电系统 深反应离子刻蚀 滑膜阻尼 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.009

馆 藏 号：203107838...