一种基于硅基双层SIW滤波器的Ka频段接收变频模块设计

作     者：赵玛利 赵宇 赵永志 李光福 李美苓 陈妍 

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究所河北石家庄050051 中国电科51所创新中心上海201802 

出 版 物：《通讯世界》 (Telecom World)

年 卷 期：2021年第28卷第10期

页      码：125-127页

摘      要：本文采用硅基三维集成工艺,完成了一种应用于雷达的接收变频器件的设计,可实现Ka频段下变频接收功能。该器件通过将硅基干法刻蚀工艺及晶圆级键合工艺相结合,制备芯片埋置腔体,内部集成了限幅器、低噪声放大器、衰减器、驱动器、混频器等多个有源芯片,并通过IPD工艺在硅基三维封装结构中直接制备硅基双层SIW滤波器,最终实现有源芯片与硅基无源元件的一体化集成。器件外形尺寸为18 mm×12 mm×1 mm,经测试,在31 GHz~32 GHz频段内,变频增益≥42 dB,输出1 dB压缩功率≥13 dBm,噪声系数<7 dB,可实现5位衰减功能。

主 题 词：接收变频器件 硅基SIW滤波器 MEMS三维集成 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-4222.2021.10.046

馆 藏 号：203107972...