一种磁控溅射镀膜电源的设计方法

作     者：王良 

作者机构：锦州铁合金集团股份有限公司 

出 版 物：《辽宁工学院学报》 (Journal of Liaoning Institute of Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期：1997年第17卷第1期

页      码：49-52页

摘      要：针对磁控溅射时气体放电现象设计了磁控电源，并从磁控溅射、触发脉冲、自适应调节器、电流截止负反馈等几个方面详细分析了电路的原理，在电网电压变化±１０％，负载变化±２０％时，相对额定电压的静态精度＜±０．５％，动态最大调整时间ΔＬ＜０．３３ｍｓ，动态最大压降ΔＶ＜２％．从而使镀膜质量从纯度、厚度、均匀度等方面有了极大地提高。

主 题 词：磁控溅射 印刷线路板 设计 镀膜设备 磁控电源 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.15916/j.issn1674-3261.1997.01.016

馆 藏 号：203108598...