Mems在电力设备检测中的应用

作     者：褚文超 贾建忠 牛佳荣 

作者机构：乌兰察布电业局内蒙古自治区乌兰察布市012000 

基　　金：内蒙古电力(集团)有限责任公司2020年科技项目《MEMS靶向性气敏光纤传感在少油设备状态检测中的研究及应用》(编号:WD-ZXZB-2020-SC0402-0745) 

出 版 物：《电子技术与软件工程》 (ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING)

年 卷 期：2022年第2期

页      码：103-106页

摘      要：本文提出应用于Mems可靠性测试电学测量系统方案,制作单片机测量装置,完成LABVIEW程序对其控制。完成对Keithley4200SCS半导体参数分析仪的控制,为电学测量实验设计打下基础。运用温度PID控制原理解决环境控制问题,寻找出精确的电阻测量方案。讨论疲劳试验结果,疲劳实验中主测梁电阻未发生明显变化,实验中温度控制达到预期目标。

主 题 词：Mems 电力设备 虚拟仪器 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

馆 藏 号：203108689...