基于多层薄膜的长波红外InAs/GaSbⅡ类超晶格焦平面光响应调控研究

作     者：史睿 周建 白治中 徐志成 周易 梁钊铭 师瑛 徐庆庆 陈建新 SHI Rui;ZHOU Jian;BAI Zhi-Zhong;XU Zhi-Cheng;ZHOU Yi;LIANG Zhao-Ming;SHI Ying;XU Qing-Qing;CHEN Jian-Xin

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室上海200083 上海科技大学信息学院上海201210 

基　　金：Supported by the National Natural Science Foundation of China(NSFC)(61904183,and 61974152) the National Key Research and Development Program of China(2016YFB0402403) the Youth Innovation Promotion Association,CAS(2016219) the Innovation Engineering Frontier Program of SITP,CAS(233) the Fund of Shanghai Science and Technology Foundation(16JC1400403) 

出 版 物：《红外与毫米波学报》 (Journal of Infrared and Millimeter Waves)

年 卷 期：2022年第41卷第1期

页      码：248-252页

摘      要：本文基于长波InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外焦平面阵列(Focal Plane Array,FPA)设计和生长了由ZnS和Ge组成的多层薄膜结构。与没有多层薄膜的FPA相比,多层薄膜使其响应峰位置从8.7μm和10.3μm分别移动到9.8μm和11.7μm,50%响应截止波长从11.6μm移动至12.3μm,并且在波长为12μm处的响应强度增加了69%。总之,优化的多层薄膜可以调控FPA的响应波长,这为实现更高灵敏度和更高成像能力的长波红外探测提供了更好的平台。

主 题 词：II类超晶格 焦平面阵列 多层薄膜 响应调控 

学科分类：080903[080903] 070207[070207] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 070205[070205] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.11972/j.issn.1001-9014.2022.01.018

馆 藏 号：203108786...