共价键合光致产酸剂的单分子树脂光刻胶:合成及光刻性能

作     者：张卫杰 陈金平 于天君 曾毅 李嫕 ZHANG Weijie;CHEN Jinping;YU Tianjun;ZENG Yi;LI Yi

作者机构：中国科学院理化技术研究所光化学转换与功能材料重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金项目(22090012) 国家科技重大专项(2018ZX02102-005)资助 

出 版 物：《影像科学与光化学》 (Imaging Science and Photochemistry)

年 卷 期：2022年第40卷第2期

页      码：211-219页

摘      要：设计合成了一种共价键合光致产酸剂(PAG)的单分子树脂(molecular glass)材料HPS-MSF,该材料具有良好的热稳定性和成膜性。以该单分子树脂为主体材料,四甲氧基甲基甘脲(TMMGU)为交联剂进行配方,制备得到负型单分子树脂光刻胶。通过254 nm紫外曝光初步研究了光刻胶的配方、后烘及显影条件。进一步利用电子束光刻对该负型光刻胶进行评价,当TMMGU添加量为15%或30%时,在曝光剂量分别为140μC/cm^(2)和110μC/cm^(2)时,均可以得到线宽为150 nm,周期300 nm的光刻条纹。

主 题 词：单分子树脂 光刻胶 电子束光刻 光致产酸剂 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.7517/issn.1674-0475.211001

馆 藏 号：203108937...