压电微动平台的定位控制

作     者：崔玉国 朱耀祥 马剑强 方凡 CUI Yu-guo;ZHU Yao-xiang;MA Jian-qiang;FANG Fan

作者机构：宁波大学机械工程与力学学院浙江宁波315211 浙江省零件轧制成型技术研究重点实验室浙江宁波315211 

基　　金：国家自然科学基金项目(51175271) 教育部留学回国人员科研启动基金资助项目 浙江省高等学校中青年学科带头人学术攀登项目(Pd2013091) 浙江省自然科学基金(LY12E09001) 

出 版 物：《振动与冲击》 (Journal of Vibration and Shock)

年 卷 期：2015年第34卷第17期

页      码：63-68,82页

摘      要：为使压电微动平台定位速度快、定位精度高,采用复合控制方法来对其进行定位控制。基于保证模型精度并使精度在整个阈值区间变化尽量均匀的要求,来使阈值最优化,进而建立了压电微动平台的迟滞模型。基于所建平台迟滞模型,设计了其前馈控制器;为抑制平台的超调,在常规数字增量式PID中引入滤波器设计了其反馈控制器;将前馈控制与PID反馈控制相结合,设计了平台的复合控制器。实验结果表明:所建平台迟滞模型仅有7个算子,且均为有效算子,在16.3μm的最大实测位移下,模型最大误差为0.208μm;在复合控制作用下,平台达到5μm目标值的响应时间为0.173 s,虽慢于前馈控制,但明显快于PID反馈控制;在最大位移为17.155μm的参考输入作用下,若不考虑传感器噪声,平台的定位误差几乎为零。

主 题 词：压电微动平台 迟滞模型 前馈控制 PID反馈控制 复合控制 

学科分类：0711[理学-心理学类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.13465/j.cnki.jvs.2015.17.011

馆 藏 号：203108965...