传感器

出 版 物：《电子科技文摘》 (Sci.& Tech.Abstract)

年 卷 期：1999年第6期

页      码：122-124页

摘      要：Y98-61403-47 9908237热电薄膜的传感器应用=Sensor application of thermo-electric thin films[会,英]/van Herwaarden,S.//199716th International Conference on Thermoelectrics.—47～55(AG)本文描述了采用薄膜和硅技术制造的热微传感器的目前工艺水平。在弄明确热传感器的类型后,描述了主要的热传感器。考虑了基于传感器功能的物理效应和热效应。还介绍了当前热微传感器的技术和设计方法论。

主 题 词：弱磁传感器 微传感器 热传感器 目前工艺水平 设计方法论 传感器应用 物理效应 热效应 压力传感器 薄膜 

学科分类：0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203108989...