电子束重复增量扫描生成三维结构的研究

作     者：郝慧娟 张玉林 卢文娟 魏强 Hao Huijuan;Zhang Yulin;Lu Wenjuan;Wei Qiang

作者机构：山东大学控制学院电子束研究所济南250061 

基　　金：国家自然科学基金重大研究计划(批准号:90307003) 山东省自然科学基金(批准号:Y2003G03) 山东省科技攻关计划基金(批准号:022090105)资助项目~~ 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2006年第27卷第7期

页      码：1326-1330页

摘      要：针对三维曝光图形的结构特点,结合自行设计的图形发生器,提出了电子束重复增量扫描方式及曝光剂量与刻蚀深度关系和灵敏度的计算方法.根据计算得到的剂量关系,按照重复增量扫描方式,在SDS-3电子束曝光机上进行了曝光实验,显影后得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥的三维结构.因此,重复增量扫描方式可以用于三维结构的加工,并且关于曝光剂量与刻蚀深度关系和灵敏度的计算可以为其提供符合实际曝光的参数.

主 题 词：DSP 图形发生器 电子束光刻 三维加工 灵敏度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-4926.2006.07.034

馆 藏 号：203109173...