悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析

作     者：李文望 孙道恒 LI Wen-wang;SUN Dao-heng

作者机构：厦门理工学院机械系福建厦门361005 厦门大学机电工程系福建厦门361005 

基　　金：福建省自然科学基金资助项目(A0110003) 福建省教育厅B类科研项目(JB03283) 

出 版 物：《传感器技术》 (Journal of Transducer Technology)

年 卷 期：2005年第24卷第2期

页      码：48-50页

摘      要：介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析。讨论了系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系。

主 题 词：微机械 隧道陀螺仪 电子隧道效应 耦合场分析 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2005.02.018

馆 藏 号：203109253...