微形貌光电观测镜的光学系统设计

作     者：刘娜 景超 张红霞 张以谟 井文才 周革 

作者机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 

基　　金：国家自然科学基金项目 (60377031) 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2005年第32卷第1期

页      码：13-15,26页

摘      要：针对微小面积及“盲孔”底面形貌,提出了一种基于直接成像原理的多功能光电检测系统。主要阐述了其光学系统设计思路,即内窥式镜头与显微系统相结合,观测与微扫描相结合。物镜部分采用内窥式探头,可深入内径 2.5mm 的盲孔内部,数值孔径不受微孔尺寸限制,从而提高了系统分辨力,达到 600lp/mm。利用平行平板光学测微器,寻找和瞄准微孔内观测表面的微小细节,可将±0.1mm 范围内的被观测目标定位到视场中心。

主 题 词：光电观测镜 光学系统设计 光纤端面检测 盲孔 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-501X.2005.01.004

馆 藏 号：203109416...