一种双层光栅分束器的设计

作     者：李哲 

作者机构：长春理工大学 

出 版 物：《工业设计》 (Industrial Design)

年 卷 期：2012年第A2期

页      码：69-69页

摘      要：分束器在集成光学等领域具有重要应用价值。随着对分束比、衍射效率及光束光强均匀性的不断提高以及工艺水平的改善,相继提出了各种变异型位相光栅。本文讨论了一种双层结构的光栅分束器的设计方法。双光栅分别蚀刻在介质层的两面。

主 题 词：分束器 光栅结构 集成光学 衍射效率 双光栅 设计自由度 变异型 光强 设计过程 均匀性 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203109433...