激光光强波动无关的248 nm退偏器检测方法

作     者：张灵浩 夏克贵 马兴华 朱玲琳 曾爱军 黄惠杰 Sergey Avakaw Zhang Linghao;Xia Kegui;Ma Xinghua;Zhu Linglin;Zeng Aijun;Huang Huijie;Sergey Avakaw

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室上海201800 中国科学院大学材料科学与光电工程中心北京100049 白俄罗斯共和国开放式股份公司“精密电子机械制造设计局-光学机械设备”白俄罗斯明斯克220033 

基　　金：上海市自然科学基金面上项目(19ZR1464300) 上海市集成电路科技支撑专项(20501110600) 上海市政府间科技合作计划(20500711300) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2022年第49卷第4期

页      码：20-28页

摘      要：退偏器在深紫外光刻机照明系统中具有重要作用。尽管相关的设计、制造、性能评估已有一些报道,但是,相应的检测手段大多工作在可见光波段,目前仍缺乏直接对深紫外特定波长应用的退偏器进行性能检测的方法。本文提出了一种与激光光强波动无关的248 nm退偏器检测方法,使用248.372 nm波长的KrF准分子激光器作为光源,利用预起偏和偏振分光设计克服了激光光强波动造成的不利影响。误差分析表明,该方法适用于退偏器性能检测,绝对系统误差小于0.1226%,随机误差约0.2000%。验证实验和稳定性实验表明,测量偏振度均值与理论值高度一致,重复性水平与分析预期相当,再现性水平仅略差于重复性水平。这一方法为248 nm光刻机照明系统中使用的退偏器提供了一种稳定有效的离线性能检测手段。

主 题 词：测量 偏振检测 退偏器 深紫外 光刻 误差分析 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0714[0714] 0803[工学-仪器类] 0701[理学-数学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CJL202249.0404003

馆 藏 号：203109732...