基于氧化锌纳米线的硅谐振式加速度计(英文)

作     者：陈国炜 朱荣 CHEN Guo-wei;ZHU Rong

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 清华大学精密仪器及机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 

基　　金：Supported by the National Natural Science Foundation of China Project( Grant No .50575113) the Program for NCET 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2009年第17卷第6期

页      码：1279-1285页

摘      要：设计制作了一种基于氧化锌纳米线的谐振式硅加速度计,该加速度计的敏感单元为由氧化锌纳米线横跨金属微电极组成的谐振器。采用介电电泳的方法组装了氧化锌纳米线,并利用FIB沉积Pt将氧化锌纳米线固定在微结构上以确保结构的可靠性。在加速度的作用下,质量块引起的惯性力通过支撑梁对纳米线施加应力,因此,在谐振条件下,纳米线谐振频率的变化反映了加速度的大小。谐振式加速度计的准数字输出能解决多数MEMS器件输出微弱信号检测难的问题。实验结果表明,加速度计的灵敏度随着纳米线的厚度的减小而急剧增加,选择500nm厚度的纳米线作为理论分析,加速度计的灵敏度可达2.5kHz/g以上。

主 题 词：氧化锌纳米线 微机电系统 加速度计 谐振器 介电电泳 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.014

馆 藏 号：203109766...