2560×2048元短波红外InGaAs焦平面探测器(特邀)

作     者：于春蕾 龚海梅 李雪 黄松垒 杨波 朱宪亮 邵秀梅 李淘 顾溢 Yu Chunlei;Gong Haimei;Li Xue;Huang Songlei;Yang Bo;Zhu Xianliang;Shao Xiumei;Li Tao;Gu Yi

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室上海200083 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室上海200083 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2022年第51卷第3期

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摘      要：高性能大规模小像元短波红外InGaAs焦平面探测器是新一代航天遥感仪器向高空间分辨率、高能量分辨率、高时间分辨率发展需要的核心器件。文中报道了高密度InGaAs探测器阵列设计与制备,并与匹配的Si-CMOS读出电路倒焊互连形成焦平面的最新研究进展,重点突破了高密度小像素探测器的暗电流和噪声抑制、百万像素焦平面倒焊互连等关键技术,解决了高平整度芯片面形控制、In柱凸点形貌和高度一致性控制、高密度倒焊偏移控制等倒焊新工艺,研制了像元中心距10μm的2 560×2 048元焦平面探测器,其峰值探测率优于1.0×10^(13)cm·Hz^(1/2)/W,响应不均匀性优于3%,有效像元率优于99.7%,动态范围优于120 dB。采用该焦平面进行了实验室演示成像,图片清晰。

主 题 词：InGaAs 焦平面 短波红外 探测率 暗电流 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/IRLA20210941

馆 藏 号：203109798...