微结构光学元件快速伺服刀架加工技术研究

作     者：李荣彬 张志辉 杜雪 高栋 王素娟 LI Rong-bin;ZHANG Zhi-hui;DU Xue;GAO Dong;WANG Su-juan

作者机构：香港理工大学工业及系统工程学系先进光学制造中心 

基　　金：中华人民共和国香港特别行政区创新科技基金资助项目(ITS/201/01)香港理工大学研究委员会资助项目(G-U023) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2005年第3卷第3期

页      码：216-221页

摘      要：微结构光学元件是一种微小的拓扑元件,通常分为微沟槽列阵、锥形列阵以及微透镜列阵等,这些微结构光学元件能在一些手持装置(例如手机)的平板显示器上得到先进的光学应用.由于产品微型化的需求越来越紧迫,传统的刻蚀方法不再适用于加工高质量的光学微结构产品,为此,提出了一种新型的加工高质量光学微结构元件的技术,该技术以快速伺服刀架加工系统为基础,并结合新开发的刀具轨迹生成器,该刀具路径生成器主要是针对快速伺服刀架加工系统而开发的,它可以根据光学微结构元件的设计直接生成加工所需的刀具轨迹,而不需要进行任何的后续处理,最后,通过加工实例证明了上述加工系统的可行性并得到了符合要求的加工效果。

主 题 词：超精密加工 微结构光学元件 刀具轨迹生成器 光电及光通讯产品 快速伺服刀架 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2005.03.011

馆 藏 号：203110091...