用于纳米测量的集成化单频激光干涉仪

作     者：李立艳 王坚 韩春阳 苑勇贵 吴冰 杨军 苑立波 

作者机构：哈尔滨工程大学理学院光子科学与技术研究中心黑龙江哈尔滨150001 

基　　金：国家自然科学基金(60807032 60877046) 中央高校基础科研业务费专项基金(HEUCFZ1020) 黑龙江省自然科学基金重点项目(2D200810)资助课题 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2011年第38卷第4期

页      码：187-192页

摘      要：研究了一种基于偏振光的集成式单频激光干涉仪。利用偏振光学变换方法,实现了干涉仪的光学4细分结构,提高了测量灵敏度;构建4路正交探测结构,实现了干涉仪的无源偏振调制,扩大了干涉仪测量范围;采用光路集成化的设计方法,实现了一体化干涉仪光路集成。对激光干涉仪进行振动测量实验研究,结果表明,静态位移测量误差小于±0.3 nm,振动测量的分辨率达10 pm/Hz1/2;上述集成单频激光干涉仪具有测量精度高、稳定性好、动态范围宽、受环境影响小等优点,可被广泛用于纳米测量的各个领域。

主 题 词：测量 激光干涉仪 纳米测量 差动干涉 光路集成化 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/cjl201138.0408001

馆 藏 号：203110101...