TCA785在扩散炉智能控制系统中的应用

作     者：刘艳 张天开 于春风 LIU Yan;ZHANG Tian-kai;YU Chun-feng

作者机构：青岛理工大学计算机工程学院青岛266033 

出 版 物：《青岛理工大学学报》 (Journal of Qingdao University of Technology)

年 卷 期：2008年第29卷第1期

页      码：88-91页

摘      要：针对多工位扩散炉的温度控制要求,介绍了以TCA785为核心的可控硅移相触发电路设计.详细介绍了TCA785的工作原理在智能扩散炉控制系统中的应用,以及在应用中应注意的问题.应用结果表明,该电路结构简单、可靠性高,便于工程应用,具有较高的经济效益和社会效益.

主 题 词：可控硅 移相触发 扩散炉 TCA785 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-4602.2008.01.018

馆 藏 号：203110161...