任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学

作     者：李曼 杨可萌 郭宇锋 顾世浦 姚佳飞 张珺 张茂林 LI Man;YANG Kemeng;GUO Yufeng;GU Shipu;YAO Jiafei;ZHANG Jun;ZHANG Maolin

作者机构：南京邮电大学集成电路科学与工程学院信息电子技术国家级虚拟仿真实验教学中心电子科学与技术国家级实验教学中心江苏南京210023 

基　　金：国家自然科学基金(61874059) 江苏省在线开放虚拟仿真实验教学项目(SYS2017SXF03) 南京邮电大学实验室工作研究课题(2021XSJ02) 

出 版 物：《实验技术与管理》 (Experimental Technology and Management)

年 卷 期：2022年第39卷第4期

页      码：104-110页

摘      要：为了突破传统理论、数值模拟和实验教学的局限性,进一步提升教学质量,培养专业领域创新人才,建设了任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学资源。基于自主研发的任意横向掺杂设计工具miniVLD,对半导体工艺仿真软件、器件模拟软件和版图设计软件进行二次开发,包含掩模板设计、虚拟制造、虚拟测试、版图设计4部分。该虚拟仿真实验具备自主开发、理念先进、综合性、创新性和工程性强等优点,为复杂理论实践教学提供了典型案例。

主 题 词：任意横向掺杂 半导体功率器件 掩模版设计 虚拟制造 虚拟测试 版图设计 

学科分类：07[理学] 

D　O　I：10.16791/j.cnki.sjg.2022.04.020

馆 藏 号：203110187...