可调谐微机电电感(英文)

作     者：方东明 张海霞 

作者机构：北京大学微电子学研究院微米纳米加工技术国家重点实验室北京100871 

基　　金：China Postdoctoral Science Foundation(200902004) Fund of National Key Laboratory of Nano/Micro Fabrication Technology(9140C7901080902) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2010年第47卷第3期

页      码：129-135页

摘      要：射频可调谐微电感在当前发挥着重要作用,它能满足高性能紧凑型器件设计的要求。对于器件设计者来说,可调电感能调谐电感量并能保证较高或适当的品质因素(Q值),这种能力在可调谐系统中比可调电容更有优势,因为可调电容可靠性较低并且大量占用基片面积。可调电感能节省芯片面积,它为将来便携式通讯系统所需的大范围可调谐系统提供一个优选的方案。因此,从器件角度对可调电感进行综述。根据可调电感的调谐机制,可调电感可分为四大类:离散型、金属屏蔽型、磁芯调谐型和线圈耦合型。对文献报道的可调电感进行概括,讨论这些可调电感优点和缺点,同时也介绍了这些可调电感的制备工艺、结果比较和其应用等。

主 题 词：可调电感 可调比 可调范围 电感量 品质因素 微机电系统 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2010.03.001

馆 藏 号：203110244...