基于共振隧穿二极管的微加速度传感器设计

作     者：郝晓剑 张斌珍 HAO Xiao-jian;ZHANG Bin-zhen

作者机构：中北大学 电子测试技术重点实验室山西太原030051 中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61176115) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2013年第32卷第10期

页      码：71-73页

摘      要：介绍了共振隧穿效应,并在此基础上利用共振隧穿二极管(RTD)设计了共振隧穿压阻式的微加速度传感器实验检测方案。对所设计的微加速度传感器进行加速度的电压输出线性度、频率响应以及不同偏压下加速度计的灵敏度等进行全面系统测试,并且进行了高低温试验、冲击响应对比分析等相关试验。研究结果为共振隧穿加速度传感器提供了全面、准确的数据,为压阻式RTD传感器的研究提供了可靠依据。

主 题 词：共振隧穿 共振隧穿二极管 加速度传感器 测试 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2013.10.021

馆 藏 号：203110411...