数字式球面干涉仪的设计与功能

作     者：曹天宁 王仁善 周淑文 

作者机构：浙江大学 

基　　金：机电部基金(86J71028) 

出 版 物：《光学仪器》 (Optical Instruments)

年 卷 期：1991年第13卷第4期

页      码：5-10页

摘      要：本文介绍在SPG-Ⅰ和SPG-Ⅱ型数字干涉仪的基础上最近又研制成功CQG-Ⅰ数字式车间球面干涉仪的情况。菲索型的球面共心干涉系统,用立式承座支撑样板与工件,可以快速在监视器上显示光圈数;也可以在微机上显示局部误差的PV值与Rms值,测量精度为λ/20。仪器口径为φ60mm,F数为10～0.74,仪器的标准镜头引用了非球面及仪器采用双工作台,从而,使仪器的质量及功能均有提高与扩大。

主 题 词：球面干涉仪 数字式 设计 干涉仪 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203110430...