一种基于感声波纹结构的光学式声传感器

作     者：于洪峰 王伟 王世宁 史鑫 曹永海 桂永雷 YU Hong-feng;WANG Wei;WANG Shi-ning;SHI Xin;CAO Yong-hai;GUI Yong-lei

作者机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2014年第33卷第9期

页      码：68-70,73页

摘      要：设计了一种基于硅MEMS敏感结构的光学式声传感器,其光学调制原理采用强度调制型,微敏感结构采用具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片。对光纤与微敏感结构耦合技术进行实验研究,优化光学参数,并制作传感器样品。经实验测试,灵敏度达80mV/Pa。

主 题 词：微机电系统 光学检测 声传感器 灵敏度 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2014)09-0068-03

馆 藏 号：203110465...