电热驱动Bimorph微执行器对流系数估算方法研究

作     者：刘骏文 徐大诚 陈巧 丁金玲 谢会开 LIU Junwen;XU Dacheng;CHEN Qiao;DING Jinling;XIE Huikai

作者机构：苏州大学电子信息学院江苏苏州215000 无锡微奥科技有限公司江苏无锡214000 美国佛罗里达大学电气与计算机工程系美国佛罗里达州32611 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2015年第28卷第8期

页      码：1120-1124页

摘      要：随着电热驱动MEMS器件尺寸进一步缩小,传统热对流系数的取值已无法满足微系统分析建模需求。针对电热型Bimorph结构的MEMS微镜驱动器,通过分析其温度分布,并以其平均温度为参考指标建立简单热阻和对流热阻分段模型,推算出微尺度下精确的对流系数,提高了微执行器设计模型的驱动性能。经理论计算和实验测试验证,对流系数值的误差在8.1%以内,满足实际设计需求,验证了该方法的合理性和可行性。

主 题 词：对流系数 电热Bimorph结构 微执行器 热阻模型 

学科分类：080701[080701] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0807[工学-电子信息类] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2015.08.004

馆 藏 号：203110508...