双腔比对折射率法测定气体压力

作     者：刘洋洋 胡常乐 孙羽 王进 胡水明 Liu Yang-Yang;Hu Chang-Le;Sun Yu;Wang Jin;Hu Shui-Ming

作者机构：中国科学技术大学化学物理系合肥230026 中国科学技术大学中国科学院量子信息与量子科技创新研究院合肥230026 

基　　金：中国科学院战略先导科技专项(C类)(批准号:XDC07010000)资助的课题~~ 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2022年第71卷第8期

页      码：55-60页

摘      要：搭建了基于气体折射率方法的气体压力测量装置,测量区间为10—100 k Pa,采用双腔比对方法对装置进行了检验.通过将两个真空腔体分别控温,并且真空连通,保证了两个腔内气体压力相同.以高纯氮气(6N)为气体介质,在不同气体压力条件下,得到了双腔对比测量的初步结果.结果显示,基于光学方法的气体折射率压力计重复度高于30×10^(-6),显著好于商用电容式薄膜压力计,说明该方法具有很大潜力.本文还分析了测量中的误差来源,并计划通过改进系统设计以提高测量精度.

主 题 词：计量学 气体压力 气体折射率 双腔比对 

学科分类：08[工学] 081601[081601] 0816[工学-纺织类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.71.20212234

馆 藏 号：203110545...