电容式MEMS加速度计非线性校准系统设计与实现

作     者：丁涛涛 赵正前 车录锋 

作者机构：浙江大学绍兴研究院浙江省绍兴市312035 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(41674181) 

出 版 物：《电子技术与软件工程》 (ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING)

年 卷 期：2022年第4期

页      码：92-96页

摘      要：本文阐述了电容式MEMS加速度计出现较大的非线性系数以及正负标度因子不一致问题的原因,为此设计并实现了一套基于补偿电容法的MEMS加速度计非线性校准系统,并使用优化算法来提高校准效率,校准偿后传感器的二阶非线性系数可达到10^(-4)量级。

主 题 词：MEMS 非线性系数 补偿电容法 校准 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

馆 藏 号：203110583...