具有栅结构与静电梳齿驱动的电容式微机械陀螺的仿真、设计与测试

作     者：谭秋林 石云波 张文栋 刘俊 张琼 熊继军 TAN Qiu-lin;SHI Yun-bo;ZHANG Wen-dong;LIU Jun;ZHANG Qiong;XIONG Ji-jun

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60871041) 山西省创新团队资助项目 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2011年第9卷第3期

页      码：207-211页

摘      要：电容式陀螺仪是一种振动式陀螺仪,由于加工的特殊性使其具有了传统的陀螺无法比拟的优点,从而拓宽了其应用领域.为了提高陀螺仪的检测精度,本文提出了一种静电梳齿驱动、栅结构的电容式检测的微机械陀螺仪的设计方法,并分析了其工作原理.运用ANSYS软件对陀螺结构进行了仿真和模态分析,仿真结果与理论计算结果相接近.所设计的陀螺结构采用体硅标准工艺方法进行了设计,并对其进行了流片加工和封装,最终得到了电容式微机械陀螺仪.实验测试的结果表明,陀螺驱动模态的固有频率为4.06 kHz,灵敏度为0.027 9 V/((°)s-1).

主 题 词：电容式微机械陀螺 栅结构 仿真与设计 

学科分类：0817[工学-轻工类] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2011.03.005

馆 藏 号：203110643...