GaN/AlGaN量子阱紫外-红外双色集成光电探测器

作     者：朱斌 邓文娟 王壮飞 周甜 吴粤川 

作者机构：东华理工大学机械与电子工程学院江西省南昌市330013 

出 版 物：《电子技术与软件工程》 (ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING)

年 卷 期：2022年第5期

页      码：97-100页

摘      要：本文设计了一种P型的GaN/AlGaN量子阱紫外-红外双色集成光电探测器结构,该结构工作在室温、零偏压下。先使用Silvaco TCAD软件对其进行光学特性仿真得到其光谱响应曲线;再对设计结构进行实物生长和表征分析;接着对其进行分光光度计测试;最后完成光电探测器器件的制备和光谱响应测试发现制备的器件在253.7nm光波段下的光谱响应值达到8.47mA/W,在可见光波段具备“日盲”特性,在780nm处有一响应值,约为0.013mA/W,而后随着光波长的增加,光响应减弱,与光学仿真结果趋势基本一致。

主 题 词：GaN/AlGaN 光电探测器 量子阱 Silvaco TCAD 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203110873...