亚微纳科技公司领先推出VERSALIS FXP

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2008年第37卷第9期

页      码：74-75页

摘      要：亚微纳技术公司是一家服务于全球半导体业及相关市场的供应商，主要提供先进半导体生产设备及工艺技术，日期宣布推出VersalisfxP系统。它是一个200／300mm集群系统，专为利用穿硅通孔技术制造三维集成电路而设计。亚微纳公司在开发此类研发用工艺整合解决方案方面处于领先地位，该技术可包含数个不同工序，包括蚀刻、PVD及CVD，

主 题 词：半导体生产设备 微纳技术 科技 三维集成电路 半导体业 集群系统 供应商 P系统 

学科分类：080903[080903] 0711[理学-心理学类] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 081104[081104] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0811[工学-水利类] 071102[071102] 081103[081103] 

馆 藏 号：203110927...