纳米多层膜和复合超硬涂层的研究进展

作     者：郑伟涛 白晓明 安涛 

作者机构：吉林大学材料科学系吉林长春130012 

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (50 3 72 0 2 4) 

出 版 物：《吉林师范大学学报（自然科学版）》 (Journal of Jilin Normal University:Natural Science Edition)

年 卷 期：2004年第25卷第2期

页      码：1-7页

摘      要：本文综述了近年来纳米多层膜和复合超硬涂层研究的最新进展,详述了纳米多层膜和复合超硬涂层的致硬机理和设计方法,分析了Ti/TiN、氮化物/氮化物多层膜和Ti-Si-N及Ti-Al-Si-N系复合膜的最新研究现状,指出了今后纳米多层膜和复合超硬涂层的研究方向.

主 题 词：纳米多层膜 复合超硬涂层 硬度 纳米多层涂层 纳米复合涂层 

学科分类：07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-3873.2004.02.001

馆 藏 号：203110994...