PI参数自整定扫描探针显微镜控制器的设计

作     者：侯锡立 靳鹏云 HOU Xi-li;JIN Peng-yun

作者机构：中国科学院电工研究所微纳加工研究部 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：2008年第2期

页      码：1-4页

摘      要：为了解决传统扫描探针显微镜(SPM)控制器中参数难以设定的难题,提出了一种SPM的PI参数自整定控制器的设计,并给出了控制器的硬件结构和软件设计。该控制器基于DSP,通过引入扫描式参数优化算法来实现。结果表明,该控制器能自动完成PI参数的测算,并给出最优的PI参数,提高了SPM扫描图像的质量。

主 题 词：PI参数自整定控制器 扫描探针显微镜 DSP 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 

馆 藏 号：203111117...