基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究

作     者：谢立强 吴学忠 李圣怡 王浩旭 董培涛 Xie Li-Qiang;Wu Xue-Zhong;Li Sheng-Yi;Wang Hao-Xu;Dong Pei-Tao

作者机构：国防科学技术大学机电工程与自动化学院长沙410073 

基　　金：国家自然科学基金重点项目(批准号:51005240)资助的课题~~ 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2010年第59卷第10期

页      码：6896-6901页

摘      要：为了简化石英陀螺结构侧壁上的电极图形,设计了一种基于剪应力检测Coriolis力的新型石英微结构.通过对剪应力检测方案的分析,微结构侧壁电极的极性单一,采用锥度为15°的锥形梁结构作为敏感梁的设计可以增大敏感梁的检测灵敏度.通过各项异性湿法腐蚀z切石英片的方法制造了微结构样件.测试表明样件的驱动频率约为5.6kHz,大气下的品质因子在5000以上.输出信号频谱的谱线存在Coriolis力信号,验证了设计思想的正确性。

主 题 词：石英陀螺 剪应力检测 Coriolis力 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0805[工学-能源动力学] 0704[理学-天文学类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.59.6896

馆 藏 号：203111271...