MEMS集成化设计方法及关键技术

作     者：尤国平 田凌 郝文涛 You Guoping;Tian Ling;Hao Wentao

作者机构：清华大学北京100084 清华大学北京100084 清华大学北京100084 

基　　金：国家重点基础研究发展规划资助项目(2003CB716204) 

出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)

年 卷 期：2005年第16卷第Z1期

页      码：245-246页

摘      要：针对MEMS设计的特点,在研究其设计过程和规律的基础上,提出一种MEMS集成化设计方法,该设计方法从方法论的角度探究了MEMS的最优设计问题.在集成化设计方法的基础上,研究MEMS工艺版图的三维重构和面向系统级仿真的宏模型构建方法,实现了MEMS集成化设计环境,有助于建立支持集成化设计的MEMS CAD软件系统.

主 题 词：MEMS 设计方法 三维重构 宏模型 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.085

馆 藏 号：203111524...