(TiAlSi)N中熵涂层的微观组织与力学性能研究

作     者：张亚南 张豪 周子超 肖宇琦 邓娜 付彬芸 多树旺 ZHANG Ya-nan;ZHANG Hao;ZHOU Zi-chao;XIAO Yu-qi;DENG Na;FU Bin-yun;DUO Shu-wang

作者机构：江西科技师范大学材料与机电学院江西省材料表面工程重点实验室江西南昌330013 

基　　金：江西省井冈学者奖励计划 国家自然科学基金(51865015) 江西省教育厅科技计划项目(GJJ190607,GJJ180596) 江西科技师范大学本科生科研项目(20201404091) 江西科技师范大学博士科研启动基金(2020BSQD011)资助 

出 版 物：《材料保护》 (Materials Protection)

年 卷 期：2022年第55卷第3期

页      码：23-27页

摘      要：为提升机械零件表面涂层的防护效用,结合中熵合金的独特设计理念,采用等离子体增强磁控溅射(PEMS)技术在316L不锈钢表面沉积(TiAlSi)N涂层。使用X射线能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)分析涂层的化学成分、晶体结构、微观形貌和表面粗糙度。使用纳米划痕/压痕仪测试涂层的结合强度、硬度和弹性模量。EDS分析结果表明(TiAlSi)N为中熵陶瓷涂层。(TiAlSi)N涂层为非晶态,涂层表面平整致密,并且具有良好的力学性能,其结合强度、硬度和弹性模量分别约为25 N、21 GPa和225 GPa。试验结果可为未来深入研究该类涂层体系提供有价值的数据参考。

主 题 词：等离子体增强磁控溅射 中熵合金 (TiAlSi)N涂层 微观结构 纳米压痕 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.16577/j.issn.1001-1560.2022.0062

馆 藏 号：203111604...