基于极点配置的直线电机运动控制器设计
作者机构：清华大学精密系北京100084
基 金：国家 863计划项目 编号 :2 0 0 1 AA42 3 2 60
出 版 物：《微电机》 (Micromotors)
年 卷 期：2005年第38卷第3期
页 码：49-51页
摘 要：为了提高精密工作台的轨迹跟踪精度和动态响应性能,基于辨识出的控制对象离散化模型,利用极点配置方法设计精密工作台运动控制器的前馈环节和反馈环节,构成具有两自由度结构的精密工作台运动控制系统。通过实验,与PD+加速度前馈的控制方式相比较,精密工作台静态定位误差提高了0.5μm;当精密工作台以120mm/s匀速运动时,轨迹跟踪精度提高了2μm,定位建立时间缩短了10ms。表明,采用极点配置方法设计的运动控制器具有较好的动态响应和轨迹跟踪性能。
主 题 词：控制器设计 直线电机 极点配置 精密工作台 动态响应性能 运动控制系统 跟踪精度 配置方法 运动控制器 离散化模型 0.5μm 反馈环节 控制对象 两自由度 控制方式 定位误差 匀速运动 建立时间 跟踪性能 轨迹 加速度 前馈
学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 080201[080201]
D O I：10.3969/j.issn.1001-6848.2005.03.016
馆 藏 号：203111613...
