利用有限元分析工具优化设计微气体传感器结构

作     者：张彤 李春明 刘丽 徐宝琨 ZHANG Tong;LI Chun-ming;LIU Li;XU Bao-kun

作者机构：吉林大学电子科学与工程学院吉林长春130012 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60104006) 吉林省科技厅资助项目(20030322) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2005年第2期

页      码：4-6页

摘      要：利用金属铂的热阻、热敏特性以及SiO2、SiNx良好的绝热绝缘特性,设计一种以金属铂薄层为加热器,叉指状金薄层为信号电极,SiO2和SiNx为隔热和电绝缘层的硅基微结构气敏元件。利用有限元分析工具ANSYS,对该硅基微结构气敏元件的加热衬底的温度场进行模拟和分析,根据分析的结果对所设计的气敏元件优化,优化后的气敏元件热损耗将更小,响应速度将更快。

主 题 词：微热板 有限元分析 ANSYS 温度场 响应速度 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2005.02.002

馆 藏 号：203111621...