高精度硅电容压力传感器的研究

作     者：李昕欣 张纯棣 庞世信 鲍敏杭 杨恒 

作者机构：沈阳仪器仪表工艺研究所沈阳市110043 复旦大学电子工程系上海市200433 

基　　金：八五攻关项目 国家自然科学基金 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：1996年第10期

页      码：7-10页

摘      要：本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构,从而较好地消除了由温度特性不匹配造成的漂移。利用Diode-quad接口电路的输出增益反馈方式基本消除了器件固有的非线性,使传感器的精度大大提高。

主 题 词：电容 压力传感器 传感器 硅电容 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203111631...