体声波谐振式日盲紫外光传感器研究

作     者：王笑怡 林文魁 李海鸥 云小凡 曾春红 陈体威 刘义彰 孙玉华 崔奇 张宝顺 WANG Xiaoyi;LIN Wenkui;LI Haiou;YUN Xiaofan;ZENG Chunhong;CHEN Tiwei;LIU Yizhang;SUN Yuhua;CUI Qi;ZHANG Baoshun

作者机构：桂林电子科技大学广西精密导航技术与应用重点实验室广西桂林541004 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台江苏苏州215123 中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院合肥215123 南京理工大学材料科学与工程学院南京210000 

基　　金：国家重点研发计划项目(2017YFA0305000) 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2022年第43卷第2期

页      码：303-310页

摘      要：提出了一种并联体声波谐振器(BAWR)与Ga_(2)O_(3)基MSM紫外传感器的新型高灵敏度传感器结构,即体声波谐振式日盲紫外光传感器(BAWR-UV Sensor)。设计并制备了MSM Ga_(2)O_(3)紫外传感器和BAWR传感器,将实测的光、暗S参数在仿真软件中封装为S1P数据模型代替MSM等效电路,用MBVD模型代替BAWR等效电路,通过并联两种结构建立了BAWR-UV仿真模型;采用ADS软件仿真了BAWR核心参数对BAWR-UV传感器灵敏度的影响,研究了提高灵敏度的设计方案。仿真结果表明,在0.5~4.5 GHz频率范围内,BAWR-UV的并联Q值越大,阻抗灵敏度越高,同时阻抗灵敏度随频率降低而增大,在并联谐振频率f_(p)=0.533 GHz时获得最佳阻抗灵敏度为100 kΩ/(μW/mm^(2));频率灵敏度随频率的升高而增大,在f_(p)=4.5 GHz时获得最佳频率灵敏度为1.4 MHz/(μW/mm^(2))。最后,开展了高灵敏度日盲紫外传感器的探索。

主 题 词：日盲紫外探测器 体声波谐振器 氧化镓 叉指传感器 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.16818/j.issn1001-5868.2022032601

馆 藏 号：203111631...