基于圆脊波导的双端口微波等离子体射流装置

作     者：朱盛颖 马长强 谢政廷 朱铧丞 杨阳 黄卡玛 ZHU Sheng-ying;MA Chang-qiang;XIE Zheng-ting;ZHU Hua-cheng;YANG Yang;HUANG Ka-ma

作者机构：四川大学电子信息学院四川成都610065 

出 版 物：《真空电子技术》 (Vacuum Electronics)

年 卷 期：2022年第35卷第2期

页      码：97-101,106页

摘      要：针对现有微波等离子体射流装置微波功率低、射流长度短和能量利用率低等问题,本文设计了一种圆脊压缩结构(可增强波导内电场强度)的等离子体射流装置,两个矩形波导分别经转换器连接圆脊波导,以双端口方式馈入微波能量,激发出大功率、高长度的等离子射流,可应用于工业处理危险固废等。使用COMSOL软件建立了圆脊模型,仿真结果表明,双端口微波能量反射较低,电场强度可达到1.54×10^(5) V/m,经实验测量,能量利用率可达到88%,于圆脊波导的石英管内产生稳定等离子体射流,高度可达400 mm。

主 题 词：圆脊波导 双端口 微波等离子体 

学科分类：080904[080904] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.02.16

馆 藏 号：203111646...