薄膜光学理论与膜系设计

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2003年第17卷第3期

页      码：56-59页

摘      要：O484.1//TN304.055 2003032028CVD金刚石膜中的缺陷=Defects in CVD diamond films[刊,中]/张恒大(北京科技大学材料科学与工程学院.北京(100083)),刘敬明…∥北京科技大学学报.—2002,24(4).—426-428研究了利用直流电弧等离子体喷射(DC Arc PlasmaJet)制备的大面积金刚石膜中的缺陷问题。研究表明:金刚石膜中的缺陷包括表面缺陷、晶内缺陷和晶界缺陷,以及由于内应力产生的金刚石膜宏观和微观裂纹。金刚石膜中的缺陷与制备工艺参数有密切关系。

主 题 词：大面积金刚石膜 发光薄膜 人工晶体 材料科学 制备工艺参数 直流电弧等离子体喷射 毫米波 凝胶法 衬底 表面缺陷 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203111884...