超洁净电磁阀动态特性仿真与优化

作     者：吴祥伟 王龙飞 申慧敏 WU Xiang-wei;WANG Long-fei;SHEN Hui-min

作者机构：上海理工大学机械工程学院上海200000 

基　　金：国家自然科学基金面上项目(52175055) 

出 版 物：《液压与气动》 (Chinese Hydraulics & Pneumatics)

年 卷 期：2022年第46卷第5期

页      码：46-52页

摘      要：为了满足半导体和化工领域等对超洁净流体控制的新需求,针对一种新型超洁净电磁阀开展动态特性仿真与优化。首先介绍其工作原理,并利用COMSOL_Mutiphysics软件对其进行有限元仿真,得到其动态响应特性曲线。然后分析了电磁阀的线圈匝数、工作间隙和衔铁厚度对其响应特性的影响。最后利用遗传算法对电磁阀进行动态响应的多目标优化,可以得到其优化后电磁阀的吸合时间由原来的10.4 ms缩短至9.2 ms,降低了11.5%;释放时间由9.5 ms缩短至8.0 ms,降低了15.7%。超洁净电磁阀的响应特性得到一定改善,为以后的优化设计提供指导。

主 题 词：超洁净电磁阀 动态响应 COMSOL_Mutiphysics 遗传算法 多目标优化 

学科分类：080704[080704] 08[工学] 080401[080401] 0807[工学-电子信息类] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.005

馆 藏 号：203111962...